[发明专利]高反射镜激光积分散射率多角度综合测量装置

说明书

技术领域

本发明属于光学元件测试技术领域，特别是涉及一种高反射镜激光积分散射率多角度综合测量装置。

背景技术

高反射镜在激光陀螺、法布里-波罗干涉仪，激光器等现代高科技领域中有广泛的应用。散射率的测量可以反应光学表面粗糙度的情况，测量高反射镜的表面散射率对获取表面微观几何形状的信息，评价光学表面的微观质量以及提高光学薄膜的质量，改进薄膜沉积工艺等方面具有重要的现实意义。

目前对积分散射率进行测量时，所采用的方法是：入射光以很小的入射角照射到被测表面后用积分球来收集散射光。在实际应用中，入射光有不同的入射角工作状态，如激光陀螺中由于有三角形或正方形的的环形激光谐振腔，激光对高反射镜的入射角实际为30°或45°，另外在谐振腔中不同的激光偏振态其散射损耗也是不同的。现有技术无法提供适宜的工作状态。

本发明项目组对国内外专利文献和公开发表的期刊论文检索，尚未发现与本发明密切相关或一样的报道和文献。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种高反射镜激光积分散射率多角度综合测量装置，以填补现有技术在此领域内的空白。

为了解决现有技术存在的问题，本发明提供的技术方案是：

一种高反射镜激光积分散射率双角度综合测量装置，包括设置于光学平台19上的光源组件和积分球14，所述光源组件上设置有波片4和衰减片6，所述积分球14上设置有入射口、测量口和输出口，输出口上设置有光电倍增管18，入射口上设置有光阑，入射口和测量口上还设置有配件，其特殊之处在于：所述积分球14上还设置有带配件的消光口，所述入射口、测量口和消光口设置有相互对应的多组，每组中进入入射口的入射光与反射出出光口的射出光的光程近似相等，入射光与测量法线的夹角为测量角，在反射光的光路上、出光口的外侧设置有消光阱。

还包括可调的光路转折组件，光路转折组件设置于光源组件与积分球14之间。

上述光路转折组件包括可移动的相对设置的第三反射镜9和第四反射镜10。

上述积分球14上设置有两组测量开口，包括第一入射口、第二入射口、第一测量口、第二测量口、第一出光口23和第二出光口25，其中：

（1）第一入射口上设置第一光阑13，在积分球14以外、反射光的光路上、第一出光口23的外侧设置第一消光阱17，该组中从第一入射口到第一测量口的入射光光程与第一测量口到第一出光口23的反射光光程近似相等，入射光与测量法线的夹角为45度测量角,即入射角为45度；

（2）第二入射口上设置第二光阑12，在积分球14以外、反射光的光路上、第二出光口25的外侧设置有第二消光阱11，该组中从第二入射口到第二测量口的入射光光程与第二测量口到第二出光口25的反射光光程近似相等，入射光与测量法线的夹角为1.25~2.25度测量角，近似0度,即入射角为0度；

在第一光阑13（第一入射口）、第二光阑12（第二入射口）、第一测量口、第二测量口、第一出光口23和第二出光口25上均设置有配件。

上述积分球14上设置有三组测量开口，包括第一入射口、第二入射口、第三入射口、第一测量口、第二测量口、第三测量口、第一出光口23、第二出光口25和第三出光口24，其中：

（1）第一入射口上设置第一光阑13，在积分球14以外、反射光的光路上、第一出光口23的外侧设置有第一消光阱17，该组中从第一入射口到第一测量口的入射光光程与第一测量口到第一消光口23的反射光光程近似相等，入射光与测量法线的夹角为45度测量角,即入射角为45度；

（2）第二入射口上设置第二光阑12，在积分球14以外、反射光的光路上、第二消光口25的外侧设置有第二消光阱11，该组中从第二入射口到第二测量口的入射光光程与第二测量口到第二消光口25的反射光光程近似相等，入射光与测量法线的夹角为1.25~2.25度测量角，近似0度,即入射角为0度；

（3）第三入射口上设置第三光阑20，在积分球14以外、反射光的光路上、第三消光口24的外侧设置有第三消光阱22，该组中从第三入射口到第三测量口的入射光光程与第三测量口到第三消光口24的反射光光程近似相等，入射光与测量法线的夹角为30度测量角,即入射角为30度；

在第一光阑13（第一入射口）、第二光阑12（第二入射口）、第三光阑20（第三入射口）、第一测量口、第二测量口、第三测量口、第一出光口23、第二出光口25和第三出光口24上均设置有配件。

上述的波片4和衰减片6都设置有多个，分别设置于可旋转的波片固定圆盘上和可旋转的衰减片固定圆盘上。