[发明专利]电子束胶光掩模板的去胶方法及其装置

摘要

本发明涉及一种电子束胶光掩模板的去胶装置，安装在机座下部的驱动气缸其活塞杆通过联板与驱动连杆连接，驱动连杆与支座固定连接；安装在机座上部的外槽体的槽壁四周安装有上喷嘴、底板有排液流道；内槽体通过支承架安装在外槽体内，托架的托盘设置在内槽体内，托盘底面具有环形凸筋，托盘下部的托座穿出内槽体与支座密封连接，托盘上设有支承座、与药液流道相通的药液下出口和药液侧出口及下喷嘴；支座的药液混合腔与托架上的药液流道相通，支座与药液混合腔相通的两个独立进药孔其出口设有单向阀、进口与药液管道连接，套在支座外侧的柔性密封套密封连接在外槽体和托架的托座上。本发明具有去胶降低成本、生产效率高的特点。

主权项

一种电子束胶光掩模板的去胶装置，其特征在于：包括外槽体(2)、内槽体(3)、托架(5)以及支座(9)、驱动气缸(15)和机座(11)，安装在机座(11)底部的驱动气缸(15)其活塞杆通过联板(14)与驱动连杆(12)连接，驱动连杆(12)与支座(9)的连接座(9-1)固定连接；所述的外槽体(2)安装在机座(11)的顶部，外槽体(2)沿槽壁四周的上部安装有喷口向下倾斜的上喷嘴(1)、底板上有排液流道(2-1)；所述的内槽体(3)通过支承架(20)安装在外槽体(2)内，内槽体(3)底部具有开口；所述托架(5)的托盘(5-1)设置在内槽体(3)内，且托盘(5-1)底面有与内槽体(3)密封的环形凸筋(5-6)，托盘(5-1)下部的托座(5-5)穿出内槽体(3)的开口与支座(9)密封连接，托盘(5-1)上设有用于支承光掩模板的两个以上凸起的支承座(5-2)，托盘(5-1)上的药液下出口(5-8)和周边的两个以上药液侧出口(5-7)分别与托架(5)内的药液流道(5-4)相通，托架(5)的水道(5-3)出口安装有下喷嘴(21)，托架(5)内的水道(5-3)和上喷嘴(1)分别与水管连接；所述支座(9)包括上部的药液混合腔(9-3)、下部的连接座(9-1)以及设置在支座(9)上两个独立与药液混合腔(9-3)相通的进药孔(9-2)，各进药孔(9-2)的出口安装有单向阀(17)、进口与药液管道(16)连接，支座(9)上的药液混合腔(9-3)与托架(5)的药液流道(5-4)相通，套在支座(9)外侧的柔性密封套(7)两侧分别密封连接在外槽体(2)和托架(5)的托座(5-5)上。