[发明专利]薄膜太阳电池用双层氧化锌透明导电薄膜及其制备方法

摘要

一种薄膜太阳电池用双层氧化锌透明导电薄膜及其制备方法。该方法利用对沉积薄膜过程中沉积气氛的有效调控，实现同时具有(0001)结晶相的电荷传输层与结晶相的绒面散射层的双层ZnO薄膜结构。首先在衬底上沉积具有(0001)结晶相的ZnO多晶薄膜，随后在其上原位生长具有()结晶相的ZnO多晶薄膜，经过湿法腐蚀工艺处理后得到具有良好电学特性与陷光结构的透明导电氧化锌薄膜材料。本发明所述氧化锌为掺杂半导体，如ZnO:Al、ZnO:Ga、ZnO:B、ZnO:Mo、ZnO:W等n型半导体材料，可应用于非晶硅基、微晶硅基、纳米硅基薄膜的单结及多结太阳电池。

主权项

1.一种薄膜太阳电池用双层氧化锌透明导电薄膜，其特征在于该导电薄膜依次包括：衬底层，衬底层上的具有(0001)结晶相的ZnO多晶薄膜电荷传输层，以及电荷传输层上经过湿法腐蚀处理的具有(000)结晶相的ZnO多晶薄膜绒面散射层。