[发明专利]室温醇类薄膜气体传感器及其制备方法无效
| 申请号： | 201010148726.1 | 申请日： | 2010-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN101799446A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 李强;霍丽华;程晓丽;孙丽萍;高山 | 申请（专利权）人： | 黑龙江大学 |
| 主分类号： | G01N27/406 | 分类号： | G01N27/406;G01N27/407 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 韩末洙 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 室温醇类薄膜气体传感器及其制备方法，它涉及一种气体传感器及其制备方法。本发明解决了现有测量醇类气体的敏感元件存在的响应和恢复时间长、气体选择性差、工作温度高，对醇类气体的最低检测限较高的问题。本发明室温醇类薄膜气体传感器由金叉指玻璃基片和氧化物薄膜组成，制备方法如下：一、制备氧化物溶胶；二、处理金叉指玻璃基片；三、按照步骤二的顺序反复操作十次；四、将经过步骤三处理的金叉指玻璃基片烧结，即得室温醇类薄膜气体传感器。本发明的室温醇类薄膜气体传感器响应和恢复时间短，本发明室温醇类薄膜气体传感器可以选择性地对醇类气体进行响应，并且在室温下即可以检测浓度为2ppm的醇类气体。 | ||
| 搜索关键词： | 室温 薄膜 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
室温醇类薄膜气体传感器，其特征在于室温醇类薄膜气体传感器由金叉指玻璃基片和氧化物薄膜组成，构成氧化物薄膜的氧化物通式是MxOy，其中M为Cr、Ti、Zn、Fe、W或V，其中1≤x≤2，1≤y≤5，x、y为整数。
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