[发明专利]室温醇类薄膜气体传感器及其制备方法无效

专利信息
申请号: 201010148726.1 申请日: 2010-04-16
公开(公告)号: CN101799446A 公开(公告)日: 2010-08-11
发明(设计)人: 李强;霍丽华;程晓丽;孙丽萍;高山 申请(专利权)人: 黑龙江大学
主分类号: G01N27/406 分类号: G01N27/406;G01N27/407
代理公司: 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 代理人: 韩末洙
地址: 150080 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要:
搜索关键词: 室温 薄膜 气体 传感器 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.室温醇类薄膜气体传感器的制备方法,其特征在于室温醇类气体传感器由金叉指玻 璃基片和氧化物薄膜组成,构成氧化物薄膜的氧化物通式是MxOy,其中M为Cr,Ti,Zn, Fe,W或V,其中1≤x≤2,1≤y≤5,x,y为整数;所述室温醇类气体传感器的制备方法如 下:一、制备氧化物溶胶:将M(NO3)a溶于去离子水中,得到浓度为0.01mol/L的 M(NO3)a溶液,加入浓度为6mol/L的浓盐酸,得混合液,混合液中M(NO3)a与盐酸的浓 度比为2~4∶1,然后在110℃的加热套内回流、加热混合液2~8小时,得到MxOy氧化物 溶胶;二、将金叉指玻璃基片以20~40毫米/分钟的速度浸入MxOy氧化物溶胶中停留2~ 5分钟,再以20~40毫米/分钟的速度提起,然后将金叉指玻璃基片烘干;三、按照步骤二 的顺序反复操作十次;四、将经过步骤三处理的金叉指玻璃基片在500℃的马弗炉中烧结1 小时,即得室温醇类薄膜气体传感器。

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