[发明专利]激光调阻基片快速精确定位方法

摘要

本发明公开了一种激光调阻基片快速精确定位方法，提出了一种将图像识别和光栅反馈相结合进行基片快速精确定位方法。包括振镜扫描头组件、CCD图像采集组件、含有光栅反馈系统的电动平台组件、微机控制单元和激光发生器组件。采用本发明，可以降低调阻机生产成本，大大减少用户的设备投资，并且具有很高生产效率，有利于提高调阻后产品精度和合格率；设备操作简便，节省人力成本，简化生产流程，可以有效降低用户生产成本。

主权项

一种激光调阻基片快速精确定位方法，提出了一种将图像识别和光栅反馈相结合进行基片快速精确定位方法。包括振镜扫描头组件、CCD图像采集组件、含有光栅反馈系统的电动平台组件、微机控制单元和激光发生器组件。其特征在于平台拖动基片到振镜扫描头下方激光焦点后，系统进行下述步骤对基片进行矫正定位：1)图像采集组件采集基片图像信息并送到控制单元与基准图像比较得出两者的偏差值；2)如果上述偏差大于设定的阀值，控制单元计算出该偏差对应的平台两个轴移动分别需要的脉冲数，控制单元根据该脉冲数并根据光栅反馈位置信息移动平台进行矫正，平台矫正结束后，返回1)；3)如果上述偏差小于设定的阀值，控制单元计算出上述偏差量对应两轴扫描电机偏转所需要的电压值，控制单元根据该电压值，控制扫描电机矫正到精确的位置。