[发明专利]激光调阻基片快速精确定位方法

权利要求书

1.一种激光调阻基片快速精确定位方法，提出了一种将图像识别和光栅反馈相结合进行基片快速精确定位方法。包括振镜扫描头组件、CCD图像采集组件、含有光栅反馈系统的电动平台组件、微机控制单元和激光发生器组件。其特征在于平台拖动基片到振镜扫描头下方激光焦点后，系统进行下述步骤对基片进行矫正定位：1)图像采集组件采集基片图像信息并送到控制单元与基准图像比较得出两者的偏差值；2)如果上述偏差大于设定的阀值，控制单元计算出该偏差对应的平台两个轴移动分别需要的脉冲数，控制单元根据该脉冲数并根据光栅反馈位置信息移动平台进行矫正，平台矫正结束后，返回1)；3)如果上述偏差小于设定的阀值，控制单元计算出上述偏差量对应两轴扫描电机偏转所需要的电压值，控制单元根据该电压值，控制扫描电机矫正到精确的位置。

2.根据权利要求1所述的一种激光调阻基片快速精确定位方法，其特征在于所述自动平台拖动基片到振镜扫描头下方激光焦点处。控制单元根据光栅反馈位置信息计算出平台实际位移量，并与目标位置进行比较，直到两者偏差达到要求精度后平台停止运动。

3.根据权利要求1所述的一种激光调阻基片快速精确定位方法，其特征在于所述基片视图与基准视图偏差大于设定阀值时，采用平台定位矫正，否则采取扫描振镜偏转矫正。

4.根据权利要求1、2所述的一种激光调阻基片快速精确定位方法，其特征在于所述控制单元包括计算机、脉冲发生卡、D/A转换卡、脉冲计数卡、控制软件。