[发明专利]一种多晶硅表面制绒方法无效
| 申请号： | 201010144113.0 | 申请日： | 2010-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN101805929A | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 万青;郑策;方旭昶 | 申请（专利权）人： | 日强光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C23F1/14;C23F1/02 |
| 代理公司： | 温州瓯越专利代理有限公司 33211 | 代理人： | 李友福 |
| 地址： | 325000 浙江省温*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能电池的制作领域，尤其是一种太阳能电池用的多晶硅表面制绒方法。本发明的技术方案是：一种多晶硅表面制绒方法，其特征在于：依次采用如下步骤：一、对硅片进行预清洗和去损伤层；二、采用超声雾化工艺或静电喷涂工艺在硅片表面覆盖一层不连续的塑料颗粒膜作为掩膜；三、把硅片置于酸、碱溶液中进行腐蚀制绒；四、把步骤三后的硅片用丙酮清洗掉塑料颗粒膜，再用去离子水清洗，烘干硅片。通过采用上述方案，本发明克服现有工艺存在的缺点与不足，提供一种多晶硅表面制绒方法，采用该方法可以制作高性能多晶硅表面绒面，并且具有产业化前景，使硅片表面反射率得到有效降低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 表面 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅表面制绒方法，其特征在于：依次采用如下步骤：(1)、对硅片进行预清洗和去损伤层；(2)、采用超声雾化工艺或静电喷涂工艺在硅片表面覆盖一层不连续的塑料颗粒膜作为掩膜；(3)、把硅片置于酸、碱溶液中进行腐蚀制绒；(4)、把步骤三后的硅片用丙酮清洗掉塑料颗粒膜，再用去离子水清洗，烘干硅片。
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