[发明专利]一种多晶硅表面制绒方法无效
| 申请号： | 201010144113.0 | 申请日： | 2010-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN101805929A | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 万青;郑策;方旭昶 | 申请（专利权）人： | 日强光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C23F1/14;C23F1/02 |
| 代理公司： | 温州瓯越专利代理有限公司 33211 | 代理人： | 李友福 |
| 地址： | 325000 浙江省温*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 表面 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅表面制绒方法，其特征在于：依次采用如下步骤：
(1)、对硅片进行预清洗和去损伤层；
(2)、采用静电喷涂工艺在硅片表面覆盖一层不连续的塑料颗粒 膜作为掩膜，所述的静电喷涂工艺为：将粒径为微米级的塑料粉末喷 涂在硅片表面，接着进行热熔，形成单层的不连续的塑料颗粒掩膜。
(3)、将带有塑料颗粒掩膜的硅片置于由氢氟酸与硝酸的配比的 酸溶液腐蚀0.5分钟，再用质量分数为20-30％的NaOH溶液在70- 90℃时腐蚀进行制绒；
(4)、把步骤三后的硅片用丙酮清洗掉塑料颗粒膜，再用去离子 水清洗，烘干硅片。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日强光伏科技有限公司，未经日强光伏科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201010144113.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：内燃机凸轮轴减压机构
- 下一篇：逆向温控组合探针式肿瘤热疗仪
