[发明专利]MEMS传感器无效
| 申请号： | 201010142181.3 | 申请日： | 2010-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN101792110A | 公开（公告）日： | 2010-08-04 |
| 发明（设计）人： | 仲谷吾郎 | 申请（专利权）人： | 罗姆股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;G01P15/125;G01H11/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘建 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS传感器，其包括：由硅材料构成且具有从其表面下挖的凹部的基板；由金属材料构成、配置在所述凹部内且相对于所述基板固定的固定电极；和由金属材料构成、在所述凹部内与所述固定电极对置配置且以相对于所述固定电极能移位的方式设置的可动电极。 | ||
| 搜索关键词： | mems 传感器 | ||
【主权项】：
一种MEMS传感器，包括：基板，其由硅材料构成，具有从其表面下挖的凹部；固定电极，其由金属材料构成，配置在所述凹部内，且相对于所述基板固定；和可动电极，其由金属材料构成，在所述凹部内与所述固定电极对置配置，且以相对于所述固定电极能移位的方式设置。
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