[发明专利]导热系数传感器

摘要

本发明的导热系数传感器实现了小型化，尽可能地抑制了周围温度的影响，减小了因封入参照气体等造成的制造误差，并且增大检测信号提高测量灵敏度。所述导热系数传感器(100)使用惠斯登电桥电路(WB)，所述惠斯登电桥电路(WB)包括：测量用电阻(R1、R2)，配置在一组对边上，与试样气体接触；以及比较用电阻(R3、R4)，配置在另一组对边上，与参照气体接触；通过对比较用电阻(R3、R4)和测量用电阻(R1、R2)的连接点的电位差进行比较，来检测试样气体的导热系数，其中，配置在一组对边上的测量用电阻(R1、R2)收容在一个测量空间(S1)内，配置在另一组对边上的比较用电阻(R3、R4)收容在一个参照空间(S2)内。

主权项

一种导热系数传感器，使用惠斯登电桥电路，所述惠斯登电桥电路包括：测量用电阻，配置在一组对边上，与试样气体接触；以及比较用电阻，配置在另一组对边上，与参照气体接触；通过对所述比较用电阻和所述测量用电阻的连接点的电位差进行比较，来检测所述试样气体的导热系数，其特征在于，配置在所述一组对边上的测量用电阻收容在装有所述试样气体的一个测量空间内，配置在所述另一组对边上的比较用电阻收容在装有所述参照气体的一个参照空间内。