[发明专利]导热系数传感器

权利要求书

1.一种导热系数传感器，使用惠斯登电桥电路，所述惠斯登电桥电路包括：测量用电阻，配置在一组对边上，与试样气体接触；以及比较用电阻，配置在另一组对边上，与参照气体接触；通过对所述比较用电阻和所述测量用电阻的连接点的电位差进行比较，来检测所述试样气体的导热系数，其特征在于，

配置在所述一组对边上的测量用电阻收容在装有所述试样气体的一个测量空间内，配置在所述另一组对边上的比较用电阻收容在装有所述参照气体的一个参照空间内。

2.根据权利要求1所述的导热系数传感器，其特征在于，

配置在所述一组对边上的测量用电阻包括设置在同一个基板表面上的两个薄膜电阻件，

配置在所述另一组对边上的比较用电阻包括设置在同一个基板表面上的两个薄膜电阻件。

3.根据权利要求2所述的导热系数传感器，其特征在于，

在所述基板表面上，至少使构成所述测量用电阻的薄膜电阻件具有形成图案的图案形成部，所述图案形成部的图案形状在周围部位的密度最大、朝向中央部位密度逐渐减小，当向图案形成部通电时，能够使图案形成部附近的温度升温到基本相同。

4.一种气体分析装置，其特征在于，使用权利要求1-3中任意一项所述的导热系数传感器。