[发明专利]一种低温型水系正胶剥离液无效
申请号: | 201010139071.1 | 申请日: | 2010-04-01 |
公开(公告)号: | CN101799639A | 公开(公告)日: | 2010-08-11 |
发明(设计)人: | 殷福华;栾成;邵勇;朱龙 | 申请(专利权)人: | 江阴市江化微电子材料有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人: | 何军 |
地址: | 214423 江苏省江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种低温型水系正胶剥离液,其特¾是它包括以下质量百分比的组份:N-甲基吡咯烷酮29~31、二甲基乙酰胺23.7~27.7、二乙二醇丁醚24~26、水17~23。本发明具有进行光阻剥离时不攻击金属层、使用工艺温度低、对环境无污染小和对人体健康伤害小的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 低温 水系 剥离 | ||
【主权项】:
一种低温型水系正胶剥离液,其特征是它包括以下质量百分比的组份:N-甲基吡咯烷酮(NMP) 29~31二甲基乙酰胺(DMAC) 23.7~27.7二乙二醇丁醚(BDG) 24~26水 17~23。
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