[发明专利]一种刻蚀图案引导制备氧化铝模板的方法

摘要

本发明公开了一种刻蚀图案引导制备氧化铝模板的方法，该方法按照以下步骤具体实施：步骤1、选择高纯铝片，抛光后，在氩气中热处理，随后在氢氧化钠溶液中浸泡，依次用蒸馏水、酒精、丙酮浸泡，再用蒸馏水漂洗，然后在高氯酸与乙醇组成的电解液中进行电抛光；步骤2、设计纳米孔图案，用聚焦离子束在步骤1得到的电抛光铝片上刻蚀设计图案；步骤3、以步骤2完成刻蚀图案的铝片为阳极，以Pt网为阴极，采用一次阳极氧化法制备氧化铝模板，阳极氧化参数为：保持电解液温度，电解液选用草酸、硫酸或磷酸，相应控制施加电压和阳极氧化时间，最后得到氧化铝模板。本发明方法制备的氧化铝模板孔径和孔间距调整精确。

主权项

一种刻蚀图案引导制备氧化铝模板的方法，其特征在于：该方法按照以下步骤具体实施：步骤1、选择高纯铝片为原料，经过机械抛光后，在氩气氛围中，450-550℃热处理12-24h，随后在质量浓度为0.4%-0.7%的氢氧化钠溶液中浸泡5-15min，依次用蒸馏水、酒精、丙酮浸泡，再用蒸馏水漂洗，然后在由高氯酸与乙醇体积比为1：3.5-4.5组成的电解液中进行电抛光，电抛光电压控制在12-15V；步骤2、依据电解液所制备的氧化铝模板的结构尺寸设计纳米孔图案，用聚焦离子束在步骤1得到的电抛光铝片上刻蚀设计图案；步骤3、以步骤2完成刻蚀图案的铝片为阳极，以Pt网为阴极，采用一次阳极氧化法制备氧化铝模板，阳极氧化参数为：电解液温度保持在0-5℃，电解液选用草酸、硫酸或磷酸，相应控制施加电压和阳极氧化时间，最后得到带有刻蚀设计图案的氧化铝模板。