[发明专利]研磨垫调节装置无效
| 申请号： | 201010130264.0 | 申请日： | 2010-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN102189484A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 高思玮;魏红建;齐宝玉;吴端毅 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B53/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 牛峥;王丽琴 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种研磨垫调节装置，用于控制钻石研磨盘清理化学研磨机台研磨垫上的杂质，包括附着钻石研磨盘的托盘、轴、支臂和基座，该装置还包括霍尔传感器、永磁体和微处理器；永磁体，内嵌安装于托盘上，用于产生磁通量信号；霍尔传感器，安装于支臂上，与永磁体相对配置，用于在托盘旋转时，接收所述永磁体产生的磁通量信号，将所述磁通量信号转变为电信号；微处理器，用于读取所述电信号，对电信号进行分析处理，获得钻石研磨盘的转速和在垂直方向上的位置信息。采用本发明的装置能够实时监测钻石研磨盘的转速和位置。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 调节 装置 | ||
【主权项】：
一种研磨垫调节装置，用于控制钻石研磨盘清理化学研磨机台研磨垫上的杂质，包括附着钻石研磨盘的托盘、轴、支臂和基座，其特征在于，该装置还包括霍尔传感器、永磁体和微处理器；永磁体，内嵌安装于托盘上，用于产生磁通量信号；霍尔传感器，安装于支臂上，与永磁体相对配置，用于在托盘旋转时，接收所述永磁体产生的磁通量信号，将所述磁通量信号转变为电信号；微处理器，用于读取所述电信号，对电信号进行分析处理，获得钻石研磨盘的转速和在垂直方向上的位置信息。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010130264.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：分配资源的指示方法及基站
- 下一篇：信息处理设备、信息处理方法和程序
