[发明专利]研磨垫调节装置无效
| 申请号： | 201010130264.0 | 申请日： | 2010-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN102189484A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 高思玮;魏红建;齐宝玉;吴端毅 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B53/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 牛峥;王丽琴 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 调节 装置 | ||
1.一种研磨垫调节装置，用于控制钻石研磨盘清理化学研磨机台研磨垫上的杂质，包括附着钻石研磨盘的托盘、轴、支臂和基座，其特征在于，该装置还包括霍尔传感器、永磁体和微处理器；
永磁体，内嵌安装于托盘上，用于产生磁通量信号；
霍尔传感器，安装于支臂上，与永磁体相对配置，用于在托盘旋转时，接收所述永磁体产生的磁通量信号，将所述磁通量信号转变为电信号；
微处理器，用于读取所述电信号，对电信号进行分析处理，获得钻石研磨盘的转速和在垂直方向上的位置信息。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述微处理器对电信号进行分析处理的过程为：根据单位时间内电信号的个数确定钻石研磨盘的转速；根据电信号的幅值确定钻石研磨盘的位置。
3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述永磁体的个数不小于6个，呈圆状均匀内嵌安装于托盘上，且靠近托盘的边缘。
4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述电信号为电压脉冲信号或者电流脉冲信号。
5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述钻石研磨盘通过永磁体吸附于托盘上。
6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，每个永磁体安装于托盘上对应的安装孔内。
7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述永磁体位于安装孔的中心，所述永磁体的四周，安装孔的空隙中填充有绝缘材料。
8.如权利要求7所述的装置，其特征在于，所述安装孔的截面形状为倒梯形。
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