[发明专利]一种高密度低寄生的电容装置无效

专利信息
申请号: 201010123024.8 申请日: 2010-03-11
公开(公告)号: CN101814494A 公开(公告)日: 2010-08-25
发明(设计)人: 冯鹏;吴南健 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01L27/04 分类号: H01L27/04
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周国城
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种电容装置,包括:一个由多晶硅栅、栅氧及连接到一起的源、漏和N阱构成的PMOS电容,其中源、漏和N阱连接到电容装置的A端口,多晶硅栅连接到电容装置的B端口;同一层金属之间的第一电容,该同一层金属由两个连接到电容装置A端口和B端口的金属叉指构成;相邻层金属之间的第二电容,其中上层金属叉指与其投影下方的金属叉指分别连接到电容装置的A端口和B端口;MIM电容,具有上极板和下极板,上极板和下极板分别连接到电容装置的A端口和B端口。本发明通过在MOS电容上实现同层金属之间的电容、相邻金属层之间的电容、MIM电容等,最大限度的实现了单位面积上的电容。
搜索关键词: 一种 高密度 寄生 电容 装置
【主权项】:
一种电容装置,具有A端口和B端口,其特征在于,该装置还包括:一个由多晶硅栅(50)、栅氧及连接到一起的源(55)、漏(56)和N阱(57)构成的PMOS电容(54),其中源(55)、漏(56)和N阱(57)连接到电容装置的A端口,多晶硅栅(50)连接到电容装置的B端口;同一层金属(51)之间的第一电容,其中该同一层金属(51)由两个连接到电容装置A端口和B端口的金属叉指构成;相邻层金属之间的第二电容,其中上层金属叉指与其投影下方的金属叉指分别连接到电容装置的A端口和B端口;MIM电容,其中MIM电容具有上极板(53)和下极板(52),上极板(53)和下极板(52)分别连接到电容装置的A端口和B端口。
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