[发明专利]等离子刻蚀机的高压线圈固定装置无效
| 申请号： | 201010114463.2 | 申请日： | 2010-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN101800147A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 朱国平 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 周祥生 |
| 地址： | 213200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种离子刻蚀机的高压线圈固定装置，其线圈骨架包括底端连接环、带槽立柱和顶端连接环，在底端连接环和顶端连接环之间均匀地设有三根以上带槽立柱，在每根带槽立柱上等间距地设有容线槽，在带槽立柱的外侧设有条状压板，在条状压板上设有与高压线圈相对应的压线槽，条状压板与带槽立柱之间由螺钉固定连接成一体。由于采用了刚度较好的线圈骨架与条状压板来固定高压线圈，高压线圈既不会变形，也不会脱离线圈骨架，能从根本上消除高压线圈的绕组脱离线圈骨架而发生撞击石英反应管的事故，保证了石英反应管的正常使用寿命，提高了等离子刻蚀机的使用可靠性，节约了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 刻蚀 高压 线圈 固定 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子刻蚀机的高压线圈固定装置，包括高压线圈(1)和线圈骨架(2)，其特征是：所述线圈骨架(2)包括底端连接环(23)、带槽立柱(24)和顶端连接环(25)，在底端连接环(23)和顶端连接环(25)之间均匀地设有三根以上带槽立柱(24)，在每根带槽立柱(24)上等间距地设有容线槽(26)，高压线圈(1)的绕组内圈压贴在带槽立柱(24)上的容线槽(26)中，在带槽立柱(24)的外侧设有条状压板(4)，在条状压板(4)上设有与高压线圈(1)相对应的压线槽(41)，条状压板(4)与带槽立柱(24)之间由螺钉(5)固定连接成一体。
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