[发明专利]等离子刻蚀机的高压线圈固定装置无效
| 申请号： | 201010114463.2 | 申请日： | 2010-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN101800147A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 朱国平 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 周祥生 |
| 地址： | 213200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子 刻蚀 高压 线圈 固定 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种等离子刻蚀机的高压线圈固定装置，包括高压线圈(1)和线圈骨架(2)，其特征是：所述线圈骨架(2)包括底端连接环(23)、带槽立柱(24)和顶端连接环(25)，在底端连接环(23)和顶端连接环(25)之间均匀地设有三根以上带槽立柱(24)，在每根带槽立柱(24)上等间距地设有容线槽(26)，高压线圈(1)的绕组内圈压贴在带槽立柱(24)上的容线槽(26)中，在带槽立柱(24)的外侧设有条状压板(4)，在条状压板(4)上设有与高压线圈(1)相对应的压线槽(41)，条状压板(4)与带槽立柱(24)之间由螺钉(5)固定连接成一体。
2.根据权利要求1所述等离子刻蚀机的高压线圈固定装置，其特征是：在底端连接环(23)和顶端连接环(25)之间均匀地设有三根带槽立柱(24)。
3.根据权利要求1所述等离子刻蚀机的高压线圈固定装置，其特征是：所述线圈骨架(2)和条状压板(4)的材质为耐高温抗光辐射的材料。
4.根据权利要求3所述等离子刻蚀机的高压线圈固定装置，其特征是：所述耐高温抗光辐射的材料为陶瓷或胶木。
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