[发明专利]用于检测平板显示器的探针单元

摘要

本发明涉及一种用于检测平板显示器的探针单元，能根据基板上形成的电路图受到的温度及光的影响，测量电气特征的变化。该探针单元包括：接纳基板的平台；设有探针并与基板上形成的电路图电连接的探头；将探头在平台上移动的线性驱动设备；用于测量平台上温度的参考温度测量部；安装在探头上，通过加热或冷却位于探针和电路图之间的接触部分从而提供特定温度条件的热流喷射设备；设置在平台上的多个背光模块，通过将光照射在基板的背面而将光量提供给电路图；用于提供电力的电源；控制热流喷射设备及背光模块而将特定的温度和光量同时施加到电路图上的控制器，控制器计算出参考温度与的特定温度的相关性，输出用于测量基板温度的有效时间。

主权项

一种用于检测平板显示器的探针单元，包括：平台，用于接纳平板显示器的基板；探头，所述探头与基板上形成的电路图电连接，在所述探头上设有探针，用于检查电路图的特征；线性驱动设备，用于将探头在平台上沿着X轴和Y轴方向移动；参考温度测量部，用于测量平台上提供的参考温度测量点的温度；热流喷射设备，安装在探头上，通过加热或冷却位于探针和电路图之间的接触部分从而提供特定的温度条件；多个背光模块，设置在平台上，通过将光照射在基板的背面而将光量施加到电路图；电源，用于为热流喷射设备和背光模块提供电力；控制器，用于控制热流喷射设备及背光模块，从而能将特定的温度和光量同时施加到电路图上，其中控制器计算出参考温度测量点的参考温度与经由热流喷射设备的特定温度的相关性，从而输出用于测量基板温度的有效时间。