[发明专利]用于检测平板显示器的探针单元

说明书

技术领域

本发明涉及用于检测平板显示器的探针单元，尤其是涉及能 根据与平板显示器的基板上形成的电路图相关的温度和光的影 响，测量电气特征的变化来检测平板显示器的探针单元。

背景技术

如现有技术中公知的，现已大规模开发平板显示器将其作为 阴极射线管的替代显示器。这种平板显示器典型地包括液晶显示 器(LCD)，等离子显示面板(PDP)，场致发射显示器(FED)，真空管 荧光显示器(VFD)等。

这种平板显示器通常是由以下一系列步骤制成的，所述步骤 包括制造上下基板的步骤，将上下基板粘结的步骤，以及诸如此 类的步骤。更具体地，为了制造下基板，在玻璃板上形成多个单 元。然后，在每个单元内设置多条横向线和纵向线，其按照矩阵 方式相互交叉。在横向线和纵向线的每一个交叉部上形成具有透 明像素电极的像素单元。上述像素单元由薄膜晶体管(TFT)形成， 与横向线和纵向线以及像素电极连接。在划线步骤中将玻璃板上 形成的多个单元切割出，所述划线步骤紧跟在检查步骤之后。按 照这种方式从玻璃板上切割出多个单元，即，分别将下基板粘结 到在上基板单独制造步骤中完成的上基板上。然后，将用于驱动 像素单元的驱动电路和其它元件装配到上下基板上，继而制成一 个平板显示器。

同时，在平板显示器的制造过程中，对玻璃板上形成的多个 单元进行检测的步骤是通过采用探针单元将电测试信号应用于电 路图上完成的，从而检查电路的状态。这种探针单元的其中之一， 例如最近的探针检测单元的典型实例，已在由本申请的同一申请 人提交的韩国专利公开号NO.10-2007-0024938(’938发明)或者韩 国专利登记号No.10-0768912(’912专利)中公开。

如图1中所示，’938发明在探头124的一侧设有热气鼓风机 130。因此，’938发明设计为基于玻璃112上的温度影响检测电路 的耐用性及电气特征，对玻璃的温度影响是通过将热气或冷气喷 射到位于探针122与玻璃112之间的接触点上实现的。

同时，如图2中所示，’912专利具有多个背光模块160以将 光照射到基板300的背面，其能够调节照射在基板300的背面上 的光量，从而根据光量的影响来检查电路的耐用性及电气特征。

上述探针检测单元只考虑了温度或者光量的影响，分别对电 路的耐用性及电气特征进行检测。因此，它们具有这样的缺点， 即在同时考虑温度和光量的情况下，无法对电路的耐用性及电气 特征进行检测。

虽然’912专利的背光模块160具有加热线圈，能根据热效应， 即温度，检测上述特征，但其具有这样的缺点，即不能对基板300 的所有部分的特征进行精确地检测。其原因是因为背光模块160 是按照预定间隔间歇地设置在基板300的背面，这样仅将热量作 用于特定位置处的电路部分。

发明内容

因此，本发明是为了解决现有技术中出现的上述问题，且本 发明的目的在于提供一种用于检测平板显示器的探针单元，当需 检测平板显示器的耐用性及电气特征时，依据与基板上形成的整 个电路图相关的光(光量)和热(温度)的协同变化，能精确检查出电 气特征的变化。

为了实现上述目的，这里提供了一种用于检测平板显示器的 探针单元，包括：平台，用于接纳平板显示器的基板；探头，所 述探头与基板上形成的电路图电连接，并在探头上设有探针，用 于检查电路图的特征；线性驱动设备，用于将探头在平台上沿着X 轴和Y轴的方向移动；参考温度测量部，用于测量平台上提供的 参考温度测量点的温度；热流喷射设备，其安装在探头上，通过 加热或冷却位于探针和电路图之间的接触部分从而提供特定的温 度条件；多个背光模块，其设置在平台上，通过将光照射在基板 的背面而将光量提供给电路图；电源，用于为热流喷射设备和背 光模块提供电力；控制器，用于控制热流喷射设备及背光模块， 从而可以将特定的温度和光量同时施加到电路图上，其中控制器 计算出参考温度测量点的参考温度与通过热流喷射设备的特定温 度的相关性，从而输出用于测量基板温度的有效时间。

热流喷射设备可以包括加热元件以加热位于探针和电路图之 间的接触部分，以及环境温度测量部，用于测量由加热元件加热 的周围的温度。

此外，热流喷射设备可以包括热吸收元件以冷却位于探针和 电路图之间的接触部分，以及环境温度测量部，用于测量由热吸 收元件冷却的周围的温度。