[发明专利]一种嵌入式液氦低温吸附泵

摘要

本发明公开了一种嵌入式液氦低温吸附泵，包括有壳体，壳体上有连接法兰，法兰和真空系统相连接，壳体内安装有液氮杜瓦、液氦杜瓦，液氮杜瓦为环形套式结构，环绕在液氦杜瓦外侧，液氦杜瓦通过导管连接吸附抽气面位于真空系统内部。实际使用中，本嵌入式4.2K液氦低温吸附泵在极其复杂的电磁环境下(如用在NBI中性束注入设备)使用，吸附面对H2的比抽速可达到12L/s.cm2，对氦也具备一定的抽速，可达到8.5L/s.cm2，工作稳定可靠且有优越的气体负荷适应能力。

主权项

一种嵌入式液氦低温吸附泵，包括有壳体，所述壳体上安装有法兰，所述壳体内设置有充有液氦的液氦杜瓦、充有液氮的液氮杜瓦，所述液氦杜瓦与液氮杜瓦均连通有输液管道，其特征在于：所述液氮杜瓦为包围所述液氦杜瓦的环形杜瓦，还包括有置于真空系统内部的吸附抽气面和置于吸附抽气面两侧的辐射挡板，所述吸附抽气面是金属面板结构且其上设置液氦冷却管，所述液氦冷却管与所述液氦杜瓦连通，所述辐射挡板上设置液氮冷却管，所述液氮冷却管与所述液氮杜瓦连通。