[发明专利]一种嵌入式液氦低温吸附泵

权利要求书

1.一种嵌入式液氦低温吸附泵，包括有壳体，所述壳体上安装有法兰，所 述壳体内设置有充有液氦的液氦杜瓦、充有液氮的液氮杜瓦，所述液氦杜瓦与液 氮杜瓦均连通有输液管道，其特征在于：所述液氮杜瓦为包围所述液氦杜瓦的环 形杜瓦，嵌入式液氦低温吸附泵还包括有置于真空系统内部的吸附抽气面和置于 吸附抽气面两侧的辐射挡板，所述吸附抽气面是金属面板结构且其上设置液氦冷 却管，所述液氦冷却管与所述液氦杜瓦连通，所述辐射挡板上设置液氮冷却管， 所述液氮冷却管与所述液氮杜瓦连通；所述吸附抽气面的金属面板表面均匀粘结 有吸附剂层；所述吸附剂为活性炭；所述辐射挡板为多个人字形叶片焊接组装而 成；所述液氦杜瓦、液氮杜瓦上分别设置有供液氦、液氮流入的进液口，所述液 氦杜瓦与所述液氦冷却管连通，所述液氮杜瓦与所述液氮冷却管连通；壳体布置 于真空系统外部通过法兰与真空系统相连。