[发明专利]氧化锌基透明电极发光二极管及其制作方法

摘要

本发明涉及一种氧化锌基透明电极发光二极管及其制作工艺。本发光二极管包括：在蓝宝石衬底上依次有缓冲层、本征层、n型氮化镓、量子阱、p型氮化镓和氧化锌基透明电流扩展层、并有n型金属电极(PAD)连接n型氮化镓，p型金属电极(PAD)连接氧化锌透明电流扩展层。其制作方法是：缓冲层、本征层、n型氮化镓、量子阱、p型氮化镓是在MOCVD中依次生长完毕；氧化锌基透明电流扩展层是利用磁控溅射方法沉积在p型氮化镓表面；利用干法刻蚀将n型氮化镓暴露出来，退火处理后利用热蒸发或电子束蒸发等薄膜沉积方法生长金属电极。芯片尺寸为1mm×1mm，为辅助氧化锌进行更好的电流扩散，设计出不同形状的p型金属电极。氧化锌透明电极提高了LED芯片光提取效率，不同形状的p型金属电极使得电流扩散更均匀，从而提高LED芯片的可靠性。

主权项

一种氧化锌基透明电极发光二极管，包括：在蓝宝石衬底(1)上依次有缓冲层(2)、本征层(3)、n型氮化镓(4)、量子阱(5)、p型氮化镓(6)和透明电极(7)，并有n型金属电极(8)连接n型氮化镓(4)，p型金属电极(9)连接透明电流扩展层(7)，其中缓冲层(2)、本征层(3)、n型氮化镓(4)、量子阱(5)、p型氮化镓(6)是在MOCVD中依次生长完毕；其特征在于所述透明电极(7)是氧化锌基透明导电薄膜，材质是ZnO:Ga或ZnO:Al或ZnO:In；所述n型金属电极(8)是金属复合电极，材质是Ti/Al或Cr/Pt/Au；所述p型金属电极(9)是金属复合电极，材质是Ni/Au或Cr/Pt/Au。