[发明专利]多晶硅铸锭用石英坩埚的制造方法无效
申请号: | 201010017251.2 | 申请日: | 2010-01-04 |
公开(公告)号: | CN102115305A | 公开(公告)日: | 2011-07-06 |
发明(设计)人: | 谭文运;衡墩志;谭运红;谭龙江 | 申请(专利权)人: | 江苏沂宝石英有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221400 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种多晶硅铸锭用石英坩埚的制造方法,包括浆料的制备和坯体的成型,将部分的石英粉料、部分含有聚合物单体和交联体的添加剂和全部去离子水一起进行球磨,球磨至要求的粒度后再加入剩余石英粉料及剩余添加剂进行二次球磨,得到浆料,将适量合格的浆料进行搅拌,搅拌的同时注入引发剂和催化剂,将搅拌后的浆料动态加压注入模具中后进行加热固化,加热固化过程中有机聚合物单体交联聚合成三维网络状聚合物凝胶,将石英粉料粘结固化形成胚体,本发明所述制造方法生产周期短、效率高、成本低,适应大批量工业化生产的需要,根据本发明制造出来多晶硅铸锭用石英坩埚尺寸变形量小、显气孔率低、耐压强度和抗折强度高。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 石英 坩埚 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭用石英坩埚的制造方法,包括浆料的制备和坯体的成型,其特征在于:浆料的制备方法如下:石英粉料经酸处理后得到制浆原料,将部分的制浆原料、部分含有聚合物单体和交联体的添加剂和全部去离子水一起进行球磨,球磨至要求的粒度后再加入剩余制浆原料及剩余添加剂进行二次球磨,得到浆料; 坯体的成型方法包括下述步骤:a.将适量合格的浆料进行搅拌,搅拌的同时注入引发剂和催化剂;b.将搅拌后的浆料动态加压注入模具中后进行加热固化,加热固化过程中有机聚合物单体交联聚合成三维网络状聚合物凝胶将制浆原料粘结固化形成胚体。
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