[发明专利]集成有用于聚焦位置监控的传感器装置的激光加工头有效
| 申请号： | 201010003809.1 | 申请日： | 2010-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN101797663A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | D·赖特迈耶;K·帕尔特斯;T·泽费尔德 | 申请（专利权）人： | 詹诺普蒂克自动化技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/04 | 分类号： | B23K26/04;G02B27/09;G02B7/09 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 赵科 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及集成有监控聚焦位置的传感器装置的激光加工头，激光加工头具有聚焦透镜和设置在后的保护玻璃，用于将作为平行射束落在聚焦透镜上的加工射束聚焦到聚焦透镜及设置在后的保护玻璃所产生的焦点上，工件设置在焦点上。在平行光程中聚焦透镜前设置分束器，分束器对于耦入激光加工头的激光射束的第一部分，即加工射束是透射的，对于第二部分，即测量射束是反射的。在反射方向上分束器后设置反射镜，使得反射镜将测量射束以相对于聚焦透镜光轴成角度α地反射到聚焦透镜，用于将测量射束成像在传感器接收面上的与焦点共轭的像点上，该传感器与分析单元连接以用于监控聚焦位置。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 用于 聚焦 位置 监控 传感器 装置 激光 工头 | ||
【主权项】：
一种激光加工头(1)，具有集成的用于监控聚焦位置的传感器装置，其中该激光加工头(1)具有聚焦透镜(4)和设置在后的保护玻璃(5)，以便将作为平行射束入射到聚焦透镜(4)上的加工射束(9)聚焦到聚焦透镜(4)以及设置在后的保护玻璃(5)所产生的焦点(11)上，工件(12)被设置在该焦点处；并且在平行的光程中在聚焦透镜(4)之前设置分束器(3)；并且存在与分析单元(14)连接的传感器(13)，其特征在于，分束器(3)对于耦入到激光加工头(1)中的激光射束(8)的第一部分、即加工射束(9)是透射的，而对于第二部分、即测量射束(10)是反射的，并且在反射方向上在分束器(3)之后设置反射镜(6)，使得该反射镜将测量射束(10)以相对于聚焦透镜(4)的光轴成角度α地反射到该聚焦透镜(4)上，以便将该测量射束(10)成像在传感器(13)的接收面上的与焦点(11)共轭的像点(17)上。
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