[发明专利]集成有用于聚焦位置监控的传感器装置的激光加工头

权利要求书

1.一种激光加工头(1)，具有集成的用于监控聚焦位置的传感 器装置，其中该激光加工头(1)具有聚焦透镜(4)和设置在后的保 护玻璃(5)，以便将作为平行射束入射到聚焦透镜(4)上的加工射 束(9)聚焦到聚焦透镜(4)以及设置在后的保护玻璃(5)所产生 的焦点(11)上，工件(12)被设置在该焦点处；并且在平行的光程 中在聚焦透镜(4)之前设置分束器(3)；并且存在与分析单元(14) 连接的传感器(13)，其特征在于，

分束器(3)对于耦入到激光加工头(1)中的激光射束(8)的 第一部分、即加工射束(9)是透射的，而对于第二部分、即测量射 束(10)是反射的，并且

在反射方向上在分束器(3)之后设置反射镜(6)，使得该反射 镜将测量射束(10)以相对于聚焦透镜(4)的光轴成角度α地反射到 该聚焦透镜(4)上，以便将该测量射束(10)成像在传感器(13) 的接收面上的与焦点(11)共轭的像点(17)上。

2.根据权利要求1所述的激光加工头(1)，其特征在于，所述 反射镜(6)是聚焦反射镜，该聚集反射镜的焦距与聚焦透镜(4)和 保护玻璃(5)所产生的焦距(11)协调一致，使得传感器(13)设 置在加工射束(9)之外尽可能靠近保护玻璃(5)。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工头(1)，其特征在于， 所述分束器(3)是穿孔镜，所述分束器(3)是两侧镜面化的面凹形 的环形透镜，使得平面的环形面将激光射束(8)中的测量射束(10) 耦合输出，而凹形的环形面将来自工件(12)的射线反射，以便将该 射线引导至设置在后面的用于过程控制的附加传感器上。

4.根据权利要求1或2所述的激光加工头(1)，其特征在于， 所述分束器(3)是两侧都镜面化的平面平行的板，该板一方面将激 光射束(8)几何划分为测量射束(10)和加工射束(9)，另一方面 将来自工件(12)的波长不同于加工激光射线的射线反射，以便将该 射线通过附加的聚焦透镜引导至设置在后的、用于过程控制的附加传 感器上。