[发明专利]太阳能电池单元及其制造方法有效
申请号: | 200980159890.8 | 申请日: | 2009-07-22 |
公开(公告)号: | CN102576776A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 中谷光德 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0224;H01L31/068 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 崔成哲 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 包括:第1工序,在半导体基板的一面侧形成绝缘膜;第2工序,在所述绝缘膜中的电极形成区域形成电极形成槽;第3工序,覆盖所述电极形成槽以及所述绝缘膜中的夹着所述电极形成槽的区域而比所述电极形成槽的宽度更宽地印刷作为主成分含有金属粒子的电极印刷浆料,并使其干燥;以及第4工序,在所述金属粒子的熔点以上、或者共晶温度以上的温度下,焙烧所述电极浆料,使所述电极浆料在所述电极形成槽上凝集而凝固,从而形成所述电极形成槽的宽度的电极。 | ||
搜索关键词: | 太阳能电池 单元 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种太阳能电池单元的制造方法,其特征在于,包括:第1工序,在半导体基板的一面侧形成绝缘膜;第2工序,在所述绝缘膜中的电极形成区域形成电极形成槽;第3工序,覆盖所述电极形成槽以及所述绝缘膜中的夹着所述电极形成槽的区域而比所述电极形成槽的宽度更宽地印刷作为主成分含有金属粒子的电极印刷浆料,并使其干燥;以及第4工序,在所述金属粒子的熔点以上、或者共晶温度以上的温度下,焙烧所述电极浆料,使所述电极浆料在所述电极形成槽上凝集而凝固,从而形成所述电极形成槽的宽度的电极。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的