[发明专利]太阳能电池单元及其制造方法

权利要求书

1.一种太阳能电池单元的制造方法，其特征在于，包括：

第1工序，在半导体基板的一面侧形成绝缘膜；

第2工序，在所述绝缘膜中的电极形成区域形成电极形成槽；

第3工序，覆盖所述电极形成槽以及所述绝缘膜中的夹着所述电极形成槽的区域而比所述电极形成槽的宽度更宽地印刷作为主成分含有金属粒子的电极印刷浆料，并使其干燥；以及

第4工序，在所述金属粒子的熔点以上、或者共晶温度以上的温度下，焙烧所述电极浆料，使所述电极浆料在所述电极形成槽上凝集而凝固，从而形成所述电极形成槽的宽度的电极。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池单元的制造方法，其特征在于，

在所述电极内部不存在空隙。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池单元的制造方法，其特征在于，

所述半导体基板是硅基板，所述电极印刷浆料作为所述金属粒子包含银、铜、金、铂、铅、铝中的某一个单个成分或者多个成分、或者这些成分的合金的金属粒子。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池单元的制造方法，其特征在于，

所述绝缘膜是硅类绝缘膜。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池单元的制造方法，其特征在于，

所述电极是受光面侧电极，所述绝缘膜是反射防止膜。

6.一种太阳能电池单元，其特征在于，具备：

半导体基板；

绝缘膜，形成于所述半导体基板的一面侧；以及

电极，埋入到设置于所述绝缘膜的槽中，并且从所述绝缘膜的表面以与所述槽相同的宽度突出设置而与所述半导体基板的一面侧电连接。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池单元，其特征在于，

所述电极是受光面侧电极，所述绝缘膜是反射防止膜。

8.根据权利要求6所述的太阳能电池单元，其特征在于，

在所述电极内部不存在空隙。