[发明专利]使用复杂二维交织方案的图像读取和写入

摘要

本发明涉及在表面上写入或读取图案，诸如，在微光刻或微光刻图案的检查中。特别地，申请人公开了通过跨越表面扫描稀疏2D点阵列或栅格来记录或读取图像的系统，例如，通过并行调制的多个光学、电子或粒子束。扫描和重复读取或写入在工件上创建了密集的像素或斑点栅格。可以通过各种阵列创建该栅格：光源阵列，例如激光器或LED阵列；通过小透镜阵列，其中每个小透镜具有其自己的调制器；通过用于粒子束的孔径板；或者近场发射器或机械探针阵列。对于读取系统，点栅格可以通过稀疏点矩阵照明和/或探测器阵列创建，其中每个探测器元件仅看到一个斑点。使用大阵列背后的想法是提高吞吐量。然而，吞吐量在阵列尺寸大于阵列的一定尺寸之后，就不再随阵列尺寸成比例变化，先前已知的方案落入了它们自身的轨迹中，并开始不断地重复相同的数据。本申请公开了利用大阵列扫描工件的方法，同时保持吞吐量与阵列尺寸成比例变化，甚至对于很大的矩阵也如此，事实上几乎没有限制。

主权项

一种在具有至少100乘100个元件的阵列与工件的表面上的斑点之间以脉冲方式传递图案信息的方法，所述方法包括：在脉冲之间将所述阵列移动一偏移矢量，所述偏移矢量在所述表面上的晶胞内创建预定数量的填隙斑点的规则分布，所述晶胞具有由从第一位置中的所述阵列的元件投影的斑点定义的角落，其中，当大阵列在一程中扫过所述表面时，特定填隙斑点的过印重复被限制为不超过8次。