[发明专利]使用复杂二维交织方案的图像读取和写入

权利要求书

1.一种在具有至少100乘100个元件的阵列与工件的表面上的斑点之间以脉冲方式传递图案信息的方法，所述方法包括：

在脉冲之间将所述阵列移动一偏移矢量，所述偏移矢量在所述表面上的晶胞内创建预定数量的填隙斑点的规则分布，所述晶胞具有由从第一位置中的所述阵列的元件投影的斑点定义的角落，其中，当大阵列在一程中扫过所述表面时，特定填隙斑点的过印重复被限制为不超过8次。

2.如权利要求1所述的方法，还包括在使用所述偏移矢量指导所述大阵列的移动之前，图形化地绘出填隙斑点的分布，以验证所述规则分布。

3.如权利要求1-2中任一项所述的方法，还包括将来自所述阵列的信息写入到所述斑点。

4.如权利要求1-2中任一项所述的方法，还包括使用所述阵列从所述斑点读取信息。

5.如权利要求1-4中任一项所述的方法，其中所述晶胞内的所述填隙斑点的规则分布基本平衡，沿着分布的主轴和副轴具有不超过3∶2的比例的失衡。

6.如权利要求1-5中任一项所述的方法，其中所述偏移矢量具有沿着所述阵列的两个轴的分量，所述分量是a/N和b/N形式的有理数，其中

a、b和N是不相等的非零整数，

a和b中至少一个大于N，并且

N大于25。

7.如权利要求1-6中任一项所述的方法，其中所述偏移矢量平行于连接从所述第一位置中的阵列投影的两个斑点的线。

8.如权利要求6或7所述的方法，其中，a和b中的至少一个大于2N。

9.如权利要求6-8中任一项所述的方法，其中N大于100。

10.如权利要求6-9中任一项所述的方法，其中，至少在除去了a、b和N的所有公因子之后，a和b互质。

11.如权利要求6-10中任一项所述的方法，其中，至少在除去了a、b和N的所有公因子之后，a和N互质。

12.如权利要求6-11中任一项所述的方法，其中，至少在除去了a、b和N的所有公因子之后，b和N互质。

13.如权利要求6-12中任一项所述的方法，其中所述阵列包括至少1024x768个元件。

14.如权利要求6-12中任一项所述的方法，其中所述阵列包括至少1980x1080个元件。

15.一种在阵列的元件与工件的表面上的斑点之间以脉冲方式传递图案信息的方法，所述方法包括：

在阵列中的至少100乘100个图像元件与工件的表面上的斑点之间以投影脉冲方式传递图案数据；以及

当所述阵列以与所述阵列的第一轴和第二轴都成角度的一般直线扫过所述表面时，构成填隙地脉冲式投影到所述表面上的斑点组的规则分布，

其中，所投影的斑点遵循连续脉冲之间的移动方向和移动距离，从而

被填隙地脉冲式投影的斑点组规则地分布在晶胞内，所述晶胞具有由第一位置中的所述阵列的图像元件的投影定义的晶胞角落；

所述移动方向平行于连接从所述第一位置中的阵列的第一和第二图像元件投影在所述表面上的特定斑点的线，并且

来自所述连续脉冲的投影斑点之间的移动距离是所述特定斑点之间的跨越距离的有理分数，并且大于在所述移动方向上所测量的所述晶胞的宽度的两倍。

16.如权利要求15所述的方法，其中所述移动距离大于所述晶胞的宽度的四倍。

17.如权利要求15所述的方法，其中所述移动距离大于所述晶胞的宽度的八倍。

18.如权利要求15-17中的任一项所述的方法，还包括选择有理分数来控制对关于所述晶胞的角落而填隙地脉冲式投影的斑点组的计数。

19.如权利要求15-18中的任一项所述的方法，还包括在使用所述移动方向和距离传递所述图案数据之前，图形化地绘出被填隙地脉冲式投影的斑点组，以验证所述规则分布。

20.如权利要求15-19中的任一项所述的方法，其中所述斑点组的规则分布在所述晶胞内基本平衡，沿着分布的主轴和副轴具有不超过3∶2的比例的失衡。