[发明专利]流出气体的改良式减量系统及方法无效
| 申请号： | 200980153665.3 | 申请日： | 2009-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN102271789A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 肯尼思·赤恩-昆·蔡;彼得·I·波施弗;马克·W·柯瑞;赛巴斯坦·劳克斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B01D53/74 | 分类号： | B01D53/74;G05B1/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 王安武 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了涉及流出物的减量的系统及方法。本发明的态样可包括：于高层级设定启动减量系统；在该减量系统接收具有非期望材料的流出物；在该高层级设定使用该减量系统减量该非期望材料；接收关于该流出物的信息；分析该信息以决定最佳设定；调整该高层级设定至该最佳设定；以及接收具有更多该非期望材料的更多该流出物，这些流出物随后可被减弱。该最佳设定对应至选择的设定效能。还提供许多其它态样。 | ||
| 搜索关键词： | 流出 气体 改良 式减量 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种方法，其包括以下步骤：于高层级设定启动减量系统；在该减量系统接收具有非期望材料的流出物；在该高层级设定使用该减量系统减量该非期望材料；接收关于该流出物的信息；分析该信息以决定最佳设定，其中该最佳设定对应至选择的设定效能；调整该高层级设定至该最佳设定；以及接收具有更多该非期望材料的更多该流出物。
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