[发明专利]流出气体的改良式减量系统及方法

权利要求书

1.一种方法，其包括以下步骤：

于高层级设定启动减量系统；

在该减量系统接收具有非期望材料的流出物；

在该高层级设定使用该减量系统减量该非期望材料；

接收关于该流出物的信息；

分析该信息以决定最佳设定，其中该最佳设定对应至选择的设定效能；

调整该高层级设定至该最佳设定；以及

接收具有更多该非期望材料的更多该流出物。

2.如权利要求1所述的方法，其中该信息包括：

预测性解决方案，该预测性解决方案与该非期望材料相关。

3.如权利要求1所述的方法，其中该信息是由接口提供。

4.如权利要求3所述的方法，其进一步包括以下步骤：

提供该接口关于电子组件制造系统的系统信息，该电子组件制造系统包括该减量系统。

5.如权利要求1所述的方法，其中该减量系统是等离子体减量系统。

6.如权利要求1所述的方法，其中该减量系统是催化减量系统。

7.如权利要求1所述的方法，其中该减量系统是燃烧减量系统。

8.一种系统，其包括：

至少一个传感器，其适于测量关于存在于电子组件制造系统中的气体的气体信息，并且适于传播该气体信息；

接口，其适于接收并分析来自产生具有非期望材料的流出物的该电子组件制造系统的该气体信息，适于决定最佳设定，并且适于传播该最佳设定，其中该最佳设定对应至选择的设定效能；及

减量系统，其适于接收该最佳设定，适于接收该流出物，以及适于减弱该非期望材料；

其中，该减量系统进一步适于在以高层级设定操作时开始减量配方批的该流出物的该非期望材料；而且

其中，该减量系统进一步适于在接收该最佳设定即调整该高层级设定至该最佳设定。

9.如权利要求8所述的系统，其中该接口包括：

逻辑程序，其基于该选择的设定效能以及该气体信息以决定该最佳设定。

10.如权利要求8所述的系统，其中该接口进一步适于接收并分析包括与该非期望材料相关的预测性解决方案的信息。

11.如权利要求10所述的系统，其进一步包括：

提供与包括该减量系统的该电子组件制造系统相关的系统信息至该接口，其中该系统信息包括一个或多个组态信息、装置信息以及设定信息。

12.如权利要求8所述的系统，其中该气体信息包括：

一个或多个配方信息以及流出物信息。

13.如权利要求8所述的系统，其中该减量系统的该高层级设定以及该最佳设定与该非期望材料与反应物反应相关。

14.如权利要求8所述的系统，其中该减量系统是等离子体减量系统及催化减量系统中的一者或多者。

15.如权利要求8所述的系统，其中该减量系统是燃烧减量系统。