[发明专利]X射线检查方法和X射线检查装置

摘要

提供X射线检查方法和X射线检查装置(100)，具有：X射线源(10)、X射线检测器(23)、控制取得来自X射线检测器(23)的图像数据的图像取得控制机构(30)、移动检查对象(1)的检查对象驱动机构(20)、X射线源控制机构(60)、运算部(70)。X射线源控制机构(60)基于来自运算部(70)的指示，控制X射线源(10)使X射线从排列在X方向上的焦点位置输出。检查对象(1)被分为多个部分区域。图像取得控制机构(30)取得从各焦点位置输出并透过部分区域的X射线的图像即部分图像。若取完全部焦点位置的部分图像，则检查对象驱动机构(20)基于运算部(70)的指示使检查对象(1)在Y方向上移动。

主权项

一种X射线检查方法，从X射线源(10)输出X射线，利用X射线检测部对透过对象物(1)的检查对象区域的X射线进行检测，并根据检测出的X射线所示的图像来重建所述检查对象区域的三维数据，所述X射线检查方法的特征在于，包括：部分图像取得步骤(S1506)，所述X射线源从X射线焦点位置(17)输出X射线，使所输出的X射线分别透过多个部分区域，根据透过所述多个部分区域的X射线的检测结果，分别取得所述多个部分区域中的各部分区域的部分图像，所述多个部分区域是在第一方向上分割所述检查对象区域而得到的多个部分区域，重复步骤(S1504、S1508、S1510)，一边使所述X射线源的X射线焦点位置在所述第一方向上进行扫描，一边重复执行所述部分图像取得步骤，重建步骤(S1410)，根据通过所述X射线焦点位置的扫描来取得的多个所述X射线焦点位置中的各焦点位置所对应的部分图像，重建所述三维数据。