[发明专利]X射线检查方法和X射线检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及X射线检查方法和X射线检查装置。特别地，本发明是利用X射线照射来检查对象物的拍摄方法，涉及应用于X射线检查方法和X射线检查装置的技术。

背景技术

近年来，亚微米(submicron)的微细加工技术推进LSI(Large-Scale Integration：大规模集成电路)的高集成化，将以往分为多个封装的功能集成到一个LSI中。在以往的QFP(Quad Flat Package：四侧引脚扁平封装)、PGA(Pin Grid Array：栅格阵列接脚)中，无法对应因组装一系列封装(one package)所需的功能而导致的管脚数增加，因此，最近特别使用BGA(Ball Grid Array：球状引脚栅格阵列)、CSP(Chip Size Package：芯片尺寸封装)封装的LSI。另外，为了满足移动电话等的超小型化的需要，即使管脚数不需要那么多，也使用BGA封装。

LSI的BGA、CSP封装对超小型化做出巨大贡献的反面，在装配(assembly)后无法从外观上看到焊接部分等。因此，在对安装了BGA、CSP封装的印刷基板等进行检查时，对检查对象品照射X射线而获取透视图像，对该透视图像进行分析，从而判断品质是否良好。每当判断是否良好时，广泛使用X射线CT(Computed Tomography：断层摄影)，根据从多个方向拍摄的透视图像来重建对象物的三维数据。

在专利文献1(JP特开2007-127668号公报)中公开了这样的方法：使用单一焦点的X射线源，在XY方向依次移动作为检查对象的基板，从而从多个方向拍摄基板的图像。图32表示使用专利文献1的方法时的基板的轨道。

另外，在专利文献2(JP特开2006-177760号公报)中公开了这样的方法：利用离散配置的多个检测器来拍摄基板。由于用多个检测器拍摄，因此能够减少基板的移动次数。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2007-127668号公报，

专利文献2：JP特开2006-177760号公报。

发明内容

发明要解决的问题

在现有方法中，难以高速进行CT重建。

在专利文献1记载的方法中，能够拍摄的方向和拍摄张数由检测器区域的分区方法决定，无法改变。在专利文献1中示出了对于各关注区域获取9张(宽度)图像的例子。

另外，在专利文献2记载的方法中，能够拍摄的方向和拍摄张数由检测器的配置决定。

进而，在专利文献1和2记载的方法中，在对多个视场(一个检测器能够拍摄的检查对象上的范围)进行拍摄时，基板的移动次数巨大。因此，基板的移动时间导致获取图像耗时。

本发明为了解决上述问题，目的在于提供一种能够高速进行CT重建的X射线检查方法和X射线检查装置。

用于解决问题的方法

根据本发明的一个方面，提供一种X射线检查方法，从X射线源输出X射线，利用X射线检测部对透过对象物的检查对象区域的X射线进行检测，根据检测出的X射线所示的图像来重建检查对象区域的三维数据，X射线检查方法的特征在于，包括：部分图像取得步骤，X射线源从X射线焦点位置输出X射线，使所输出的X射线分别透过多个部分区域，根据透过多个部分区域的X射线的检测结果，分别取得多个部分区域中的各部分区域的部分图像，多个部分区域是在第一方向上分割检查对象区域而成的多个部分区域，重复步骤，一边使X射线源的X射线焦点位置在第一方向上扫描，一边重复执行部分图像取得步骤，重建步骤(S1410)，根据通过X射线焦点位置的扫描而取得的多个X射线焦点位置中的各焦点位置所对应的部分图像，重建三维数据。

优选地，检查对象区域在第一方向和第二方向上被分割为多个部分区域，第二方向与第一方向相交，在重复步骤中，使X射线源的X射线焦点位置在第一方向上扫描后，使对象物在第二方向上移动，一边根据使对象物在第二方向上移动的状态来使X射线源的X射线焦点位置在第一方向上扫描，一边重复执行部分图像取得步骤。

优选地，在重复步骤中，使X射线焦点位置在多条线上扫描。

进一步优选地，X射线源包括分别配置在多条线上的多个靶，在重复步骤中，使X射线焦点位置在各靶上扫描。

进一步优选地，在与线相交的方向上，X射线检测部夹在两个靶之间。

进一步优选地，各靶是反射型靶。