[发明专利]用于线锯切割的切割流体组合物有效
| 申请号： | 200980151099.2 | 申请日： | 2009-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN102257091A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | S.格伦比尼;N.纳吉布 | 申请（专利权）人： | 嘉柏微电子材料股份公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供含水线锯切割流体组合物，其减少线锯切割过程期间所产生的氢气的量。该组合物由含水载体、颗粒研磨剂、增稠剂和氢气抑制剂组成。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 切割 流体 组合 | ||
【主权项】：
含水线锯切割流体组合物，包含：颗粒研磨剂；含有增稠剂的含水载体；和选自如下的至少一种氢气抑制剂：亲水聚合物、具有在链中包含至少6个碳原子的疏水部分的表面活性剂、有机硅、和氢气清除剂；其中所述研磨剂、增稠剂和氢气抑制剂为该组合物的单独且不同的组分。
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