[发明专利]用于线锯切割的切割流体组合物

权利要求书

1.含水线锯切割流体组合物，包含：

颗粒研磨剂；

含有增稠剂的含水载体；和

选自如下的至少一种氢气抑制剂：亲水聚合物、具有在链中包含至少6个碳原子的疏水部分的表面活性剂、有机硅、和氢气清除剂；

其中所述研磨剂、增稠剂和氢气抑制剂为该组合物的单独且不同的组分。

2.权利要求1的组合物，其中所述至少一种氢气抑制剂为所述具有在链中包含至少6个碳原子的疏水部分的表面活性剂，其中该表面活性剂具有18或更小的HLB。

3.权利要求1的组合物，其中所述至少一种氢气抑制剂为亲水聚合物，其中该聚合物具有18或更小的HLB。

4.权利要求1的组合物，其中所述增稠剂包括纤维素化合物。

5.权利要求1的组合物，其中所述增稠剂为所述载体提供至少40cp的粘度。

6.权利要求1的组合物，其中所述增稠剂以约0.2至10重量％的浓度存在。

7.权利要求1的组合物，其中所述研磨剂包括碳化硅、金刚石或碳化硼。

8.权利要求1的组合物，其包含至少两种氢气抑制剂。

9.权利要求1的组合物，其中所述研磨剂以30至60重量％的浓度存在。

10.权利要求1的组合物，其中所述表面活性剂选自芳基烷氧基化物、烷基烷氧基化物、烷氧基化有机硅、炔醇、乙氧基化炔二醇、C₈至C₂₂烷基硫酸酯、C₈至C₂₂烷基磷酸酯、C₈至C₂₂醇、和烷基酯。

11.权利要求1的组合物，其中所述组合物包含约0.01至4重量％的有机硅。

12.权利要求1的组合物，其进一步包含约0.01至4重量％的氧化剂。

13.权利要求1的组合物，其中该组合物包含约0.01至4重量％的所述氢气清除剂。

14.权利要求13的组合物，其中所述氢气清除剂选自对氢有反应性的金属化合物、硅氢化催化剂、有机电子传递剂、和对硅有反应性的金属化合物。

15.含水线锯切割流体组合物，包含：

颗粒研磨剂；

含水载体；

增稠剂；和

选自如下的至少一种氢气抑制剂：表面活性剂、对氢有反应性的金属化合物、对硅有反应性的金属化合物、硅氢化催化剂、和有机电子传递剂；

其中所述表面活性剂包含疏水部分和亲水部分；所述表面活性剂的所述疏水部分包含取代的烃基、未取代的烃基和有机硅基团中的一种或多种；且所述表面活性剂的所述亲水部分包含聚氧化烯基团、醚基、醇基、氨基、氨基的盐、酸性基团、和酸性基团的盐中的一种或多种，和其中所述研磨剂、增稠剂和氢气抑制剂为所述组合物的单独且不同的组分。

16.权利要求15的组合物，其中所述研磨剂包括碳化硅、金刚石或碳化硼。

17.权利要求15的组合物，其中所述表面活性剂的所述亲水部分包含一个或多个醚基。

18.权利要求15的组合物，其中所述研磨剂以30至60重量％的浓度存在。

19.利用含水线锯切割流体改善线锯切割过程中的氢气产生的方法，该方法包括使用所述线锯和权利要求1的含水切割流体组合物切割工件。

20.权利要求19的方法，其中所述工件包括硅。