[发明专利]具有最小均方色调添加器的扫描镜控制有效
| 申请号： | 200980145706.4 | 申请日： | 2009-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN102216829A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 布鲁斯·C·罗萨尔 | 申请（专利权）人： | 微视公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 谷惠敏;穆德骏 |
| 地址： | 美国华*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 扫描束投影系统(100)包括具有快扫描轴和慢扫描轴的扫描镜(116)。慢扫描扫描镜控制系统(130)对关于慢扫描轴的运动进行控制。控制系统接收用于对镜子的角位移进行描述的位置信息。控制系统的外回路包括最小均方(LMS)色调添加器，该最小均方(LMS)色调添加器用于确定当组合时生成扫描镜驱动信号的谐波相关信号。控制系统的内回路对在由谐波相关信号所占据的频带之内的频率上的扫描镜共振模进行补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 最小 色调 添加 扫描 控制 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：对扫描镜的角运动进行检测以生成位置信号；使所述位置信号与多个谐波相关色调混合以生成表示返回的谐波系数的多个DC信号；将所述返回的谐波系数与谐波系数目标进行比较以获得误差值；响应所述误差值，修改多个驱动系数；以及使所述多个驱动系数与所述多个谐波相关色调混合以生成多个谐波相关驱动信号。
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