[发明专利]使用光解和/或热化学气相沉积法涂布容器内部的系统、设备和方法

摘要

本发明提供系统、设备和方法来将阻挡和/或润滑剂材料涂覆到容器的内表面上，所述系统包括具有腔室的容器；气体供应源，用于经具有延伸到所述腔室的部分的进气口管道供应单体气体；光解源和/或热解表面，用于使所述单体气体的至少一部分光解和/或热解以形成包含至少一个反应性结构部分的反应性气体；任选的温度控制器，用于保持所述容器的内表面处于低于所述热解表面的温度的温度以便使所述反应性结构部分在所述容器的内表面上沉积并聚合；和出口管道，其在所述容器的开放末端或第二末端，用于从所述腔室移出过量的反应性气体。

主权项

一种用于涂布容器的内壁表面的至少一部分的系统，其包含：(a)容器，其包含开放末端、在所述开放末端对侧的第二末端和在它们之间延伸的壁，所述壁具有外壁表面和内壁表面，所述容器具有在由在所述容器的开放末端和第二末端之间的内壁表面限定的区域内的腔室；(b)单体气体供应源，用于供应至少一种单体气体；(c)进气口管道，其安置在所述容器的开放末端且具有延伸到所述腔室的一部分的部分，用于将从所述单体气体供应源接收的至少一种单体气体供应到所述腔室；(d)热解表面，用于使供应到所述容器的腔室的所述单体气体的至少一部分热解以由所述单体气体形成包含至少一个反应性结构部分的反应性气体；(e)温度控制器，用于保持所述容器的内壁表面处于低于所述热解表面的温度的温度以便于所述反应性结构部分在所述容器的内壁表面的至少一部分上沉积并聚合；和(f)出口管道，其安置在所述容器的开放末端或所述容器的第二末端，用于从所述腔室移出过量的反应性气体。