[发明专利]使用光解和/或热化学气相沉积法涂布容器内部的系统、设备和方法无效
| 申请号: | 200980144206.9 | 申请日: | 2009-09-22 |
| 公开(公告)号: | CN102209800A | 公开(公告)日: | 2011-10-05 |
| 发明(设计)人: | N·罗德里格斯圣胡安;S·斯里德哈兰 | 申请(专利权)人: | 贝克顿·迪金森公司 |
| 主分类号: | C23C16/00 | 分类号: | C23C16/00 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 任永利 |
| 地址: | 美国新*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 使用 光解 热化学 沉积 法涂布 容器 内部 系统 设备 方法 | ||
1.一种用于涂布容器的内壁表面的至少一部分的系统,其包含:
(a)容器,其包含开放末端、在所述开放末端对侧的第二末端和在它们之间延伸的壁,所述壁具有外壁表面和内壁表面,所述容器具有在由在所述容器的开放末端和第二末端之间的内壁表面限定的区域内的腔室;
(b)单体气体供应源,用于供应至少一种单体气体;
(c)进气口管道,其安置在所述容器的开放末端且具有延伸到所述腔室的一部分的部分,用于将从所述单体气体供应源接收的至少一种单体气体供应到所述腔室;
(d)热解表面,用于使供应到所述容器的腔室的所述单体气体的至少一部分热解以由所述单体气体形成包含至少一个反应性结构部分的反应性气体;
(e)温度控制器,用于保持所述容器的内壁表面处于低于所述热解表面的温度的温度以便于所述反应性结构部分在所述容器的内壁表面的至少一部分上沉积并聚合;和
(f)出口管道,其安置在所述容器的开放末端或所述容器的第二末端,用于从所述腔室移出过量的反应性气体。
2.权利要求1的系统,其中所述出口管道为真空管道且其中所述过量的反应性气体是在真空下从所述腔室中移出。
3.权利要求1的系统,其中所述容器选自由注射器、药筒、无针注射器、液体分配装置、液体计量装置、样品收集管、导液管、小瓶和管道组成的集合。
4.权利要求3的系统,其中所述容器包含注射器套筒。
5.权利要求4的系统,其中所述容器包含注射器套筒,所述注射器套筒具有开放末端、具有可与其连接的针头或套管的第二相对末端,并且任选地具有覆盖所述可连接针头或套管的外部的至少一部分的遮罩或顶盖。
6.权利要求1的系统,其中所述容器由玻璃、金属、陶瓷、塑料或它们的组合形成。
7.权利要求6的系统,其中所述容器由选自聚乙烯、聚丙烯、聚(1-丁烯)、聚(2-甲基-1-戊烯)、环状聚烯烃以及它们的混合物的烯属聚合物制成。
8.权利要求1的系统,其中所述单体气体包含选自由有机硅单体、卤化烃单体、可可碱乙酸钠单体、硫杂丙环单体、不饱和烯属单体以及它们的混合物组成的集合中的至少一种单体。
9.权利要求8的系统,其中所述有机硅单体选自由以下各物组成的集合:六甲基环化三硅氧烷、八甲基环化四硅氧烷、1,3,5-三乙烯基-1,3,5-三甲基环化三硅氧烷、1,3,5,7-四乙烯基-1,3,5,7-四甲基环化三硅氧烷、3-(N-烯丙基氨基)丙基三甲氧基硅烷、烯丙基二氯硅烷、烯丙基二甲氧基硅烷、烯丙基二甲基硅烷、烯丙基三氯硅烷、烯丙基三甲氧基硅烷、烯丙基三甲基硅烷、双(二甲基氨基)乙烯基甲基硅烷、对-(叔丁基二甲基甲硅烷氧基)苯乙烯、十甲基环戊硅氧烷、二乙基硅烷、二甲基乙氧基硅烷、二甲基硅烷、二乙烯基二甲基硅烷、二乙烯基四甲基二硅烷、1,3-二乙烯基四甲基二硅氧烷、乙基三甲氧基硅烷、六甲基二硅氧烷、1,1,3,3,5,5-六甲基三硅氧烷、六乙烯基二硅氧烷、甲基三乙氧基硅烷、甲基三甲氧基硅烷、甲基硅烷、四乙氧基硅烷、四乙基环化四硅氧烷、四乙基硅烷、四甲氧基硅烷、1,1,3,3-四甲基二硅氧烷、四甲基硅烷、四乙烯基硅烷、三甲基硅烷、乙烯基二甲基硅烷、乙烯基甲基双(三甲基甲硅烷氧基)-硅烷、3-乙烯基七甲基三硅氧烷、乙烯基甲基二乙氧基硅烷、乙烯氧基三甲基硅烷、乙烯基五甲基二硅氧烷、乙烯基四甲基二硅氧烷、乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三甲基硅烷以及它们的混合物。
10.权利要求8的系统,其中所述卤化烃单体选自由以下各物组成的集合:六氟环氧丙烷、四氟乙烯、六氟环丙烷、八氟环丁烷、全氟辛烷磺酰氟、八氟丙烷、三氟甲烷、二氟甲烷、二氟二氯甲烷、二氟二溴甲烷、二氟溴甲烷、二氟氯甲烷、三氟氯甲烷、四氟环丙烷、四氯二氟环丙烷、三氯三氟乙烷、二氯四氟环丙烷以及它们的混合物。
11.权利要求1的系统,其中所述进气口管道通常为圆柱状管子。
12.权利要求11的系统,其中所述进气口管道在所述管子的侧壁中具有多个孔。
13.权利要求1的系统,其中所述进气口管道由多孔材料制备。
14.权利要求12的系统,其中所述进气口管道还包含从最接近所述管子的侧壁中的孔的所述管子的外部侧壁径向延伸的至少一个板。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





