[发明专利]蓝宝石单晶的制造方法无效
| 申请号： | 200980143033.9 | 申请日： | 2009-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN102197166A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 庄内智博 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B15/28 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 段承恩;杨光军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明实施下述工序：熔融工序，该工序使坩埚中的氧化铝熔融，得到氧化铝熔液；肩部形成工序，该工序通过提拉与氧化铝熔液接触的晶种，在晶种的下方形成肩部；直体部形成工序，该工序从熔液提拉蓝宝石单晶，形成直体部；以及，尾部形成工序，该工序供给含有氧和惰性气体并且氧的浓度被设定为1.0体积％以上且5.0体积％以下的混合气体，并且从熔液拉离蓝宝石单晶，形成尾部。由此，在从氧化铝熔液结晶生长蓝宝石单晶时，更加抑制蓝宝石单晶的尾部的凸状部的形成。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石单晶的制造方法，其特征在于，具有：熔融工序，该工序使置于室内的坩埚中的氧化铝熔融，得到该氧化铝的熔液；生长工序，该工序向所述室内供给氧浓度被设定为第1浓度的第1混合气体，并且从所述熔液提拉蓝宝石单晶使其生长；和分离工序，该工序向所述室内供给氧浓度被设定为比所述第1浓度高的第2浓度的第2混合气体，并且进一步提拉所述蓝宝石单晶将其从所述熔液拉开而分离。
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