[发明专利]透明导电氧化锌显示器膜及其制造方法

摘要

本发明关于一种用于产生一透明导电氧化物显示器涂层(TCO显示器层)，尤其作为平板显示器及其类似物的一透明触点的一透明导电氧化物显示器涂层的方法。在具有含有氢的工艺氛围的情况下，经由沉积氧化锌及额外铝、铟、镓、硼、氮、磷、氯、氟或锑或其组合而产生该TCO显示器层。可以一与ITO相比尤其简单及成本有效的方式实现此等TCO层。就高透射率及低电阻而论，本发明TCO层的性质几乎与ITO的彼等性质一样好。

主权项

一种经由沉积经掺杂的氧化锌而产生一透明导电氧化物显示器涂层的方法，尤其是用于显示器及其类似物的透明触点的一透明导电氧化物显示器层，其特征在于，该透明导电氧化物显示器涂层在具有包括氢的工艺氛围的情况下得以产生。