[发明专利]透明导电氧化锌显示器膜及其制造方法

权利要求书

1.一种经由沉积经掺杂的氧化锌而产生一透明导电氧化物显示器涂层的方法，尤其是用于显示器及其类似物的透明触点的一透明导电氧化物显示器层，

其特征在于，

该透明导电氧化物显示器涂层在具有包括氢的工艺氛围的情况下得以产生。

2.如权利要求1所述的方法，

其特征在于，

该工艺氛围中的氢含量在1体积％至50体积％的范围中，尤其在4体积％至16体积％的范围中且较佳在6体积％至12体积％的范围中。

3.如前述权利要求中任一项所述的方法，

其特征在于，

在沉积期间基板温度为至多350℃，尤其，在100℃至250℃的范围中且较佳为230℃。

4.如前述权利要求中任一项所述的方法，

其特征在于，

该透明导电氧化物显示器涂层经由溅射产生，尤其DC溅射、经脉冲的DC溅射或MF溅射。

5.如权利要求4所述的方法，

其特征在于，

功率密度在2W/cm²至20W/cm²的范围中，尤其在4W/cm²至15W/cm²的范围中且较佳在6W/cm²至11W/cm²的范围中。

6.如前述权利要求中任一项所述的方法，

其特征在于，

该氢由一氢源提供，该来源含有纯氢、含有氢的一气体混合物或含有氢的一化合物，尤其H₂O、NH₃或CH₄。

7.如前述权利要求中任一项所述的方法，

其特征在于，

该工艺氛围进一步含有氧、含有氧的一气体混合物或含有氧的任何化学化合物。

8.如前述权利要求中任一项所述的方法，

其特征在于，

掺杂剂为铝、铟、镓、硼、氮、磷、氯、氟或锑或其组合，较佳为镓。

9.一种包含氧化锌及一掺杂剂的透明导电氧化物显示器涂层，

其特征在于，

该涂层的电阻为至多1000μΩcm，尤其至多600μΩcm且较佳至多450μΩcm且该涂层可在低于350℃的温度下沉积，尤其用如前述权利要求中任一项所述的方法来制造。

10.如权利要求9所述的透明导电氧化物显示器涂层，

其特征在于，

该涂层的透射率在540nm的一波长处为至少96.5％，尤其至少97.5％且较佳至少98.8％。

11.一种如权利要求9项或第10所述的一透明导电氧化物显示器涂层的用途，

其特征在于，

该透明导电氧化物显示器涂层用于显示器及其类似物的一透明触点。

12.如权利要求11所述的用途，

其特征在于，

该透明触点仅由该透明导电氧化物显示器涂层组成。