[发明专利]转印材料用固化性组合物和图案形成方法无效
| 申请号： | 200980142257.8 | 申请日： | 2009-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN102197055A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 新井良和;内田博 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | C08F20/34 | 分类号： | C08F20/34;B05D1/28;B05D1/38;B05D3/00;B05D3/06;B05D7/24;H01L21/027;C08G12/40 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 段承恩;田欣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供对氩气的干蚀刻耐性较高、而且氩气和氧气的干蚀刻速度的选择性较高，并且可以形成用作抗蚀层等的微细图案的、适合纳米压印法的转印材料用固化性组合物。本发明的转印材料用固化性组合物，其特征在于，含有通过使氨基三嗪化合物、分子内具有羟基和(甲基)丙烯酰基的化合物、和醛类化合物反应而获得的具有三嗪骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 材料 固化 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种转印材料用固化性组合物，其特征在于，含有通过使氨基三嗪化合物、分子内具有羟基和(甲基)丙烯酰基的化合物、和醛类化合物进行反应而获得的具有三嗪骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物。
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