[发明专利]转印材料用固化性组合物和图案形成方法无效
| 申请号: | 200980142257.8 | 申请日: | 2009-10-19 |
| 公开(公告)号: | CN102197055A | 公开(公告)日: | 2011-09-21 |
| 发明(设计)人: | 新井良和;内田博 | 申请(专利权)人: | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号: | C08F20/34 | 分类号: | C08F20/34;B05D1/28;B05D1/38;B05D3/00;B05D3/06;B05D7/24;H01L21/027;C08G12/40 |
| 代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 段承恩;田欣 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 材料 固化 组合 图案 形成 方法 | ||
1.一种转印材料用固化性组合物,其特征在于,含有通过使氨基三嗪化合物、分子内具有羟基和(甲基)丙烯酰基的化合物、和醛类化合物进行反应而获得的具有三嗪骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物。
2.一种转印材料用固化性组合物,其特征在于,含有通过使氨基三嗪化合物、分子内具有羟基和(甲基)丙烯酰基的化合物、醛类化合物、和分子内具有羟基和硅原子的化合物进行反应而获得的具有三嗪骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物。
3.根据权利要求2所述的转印材料用固化性组合物,所述分子内具有羟基和硅原子的化合物是选自三甲基甲硅烷基甲醇、2-(三甲基甲硅烷基)乙醇、3-(三甲基甲硅烷基)-1-丙醇、3-(三甲基甲硅烷基)炔丙醇、4-(三甲基甲硅烷基)-1-丁醇、4-(三甲基甲硅烷基)-3-丁炔-2-醇、4-(三甲基甲硅烷基乙炔基)苄醇、5-(三甲基甲硅烷基)-1-戊醇、5-(三甲基甲硅烷基)-4-戊炔-1-醇、6-(三甲基甲硅烷基)-1-己醇、三乙基甲硅烷基甲醇、2-(三乙基甲硅烷基)乙醇、三丙基甲硅烷基甲醇、2-(三丙基甲硅烷基)乙醇、三异丙基甲硅烷基甲醇、2-(三异丙基甲硅烷基)乙醇、三丁基甲硅烷基甲醇、2-(三丁基甲硅烷基)乙醇、三苯基甲硅烷基甲醇、2-(三苯基甲硅烷基)乙醇、三甲基硅醇、三乙基硅醇、三苯基硅醇、叔丁基二甲基甲硅烷基甲醇、2-(叔丁基二甲基甲硅烷基)乙醇、叔丁基二甲基硅醇、乙基二甲基甲硅烷基甲醇、2-(乙基二甲基甲硅烷基)乙醇、苯基二甲基甲硅烷基甲醇、2-(苯基二甲基甲硅烷基)乙醇、苯基二甲基硅醇中的至少一种。
4.根据权利要求1~3的任一项所述的转印材料用固化性组合物,所述氨基三嗪化合物是三聚氰胺。
5.根据权利要求1~4的任一项所述的转印材料用固化性组合物,所述分子内具有羟基和(甲基)丙烯酰基的化合物是选自(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟丙酯、(甲基)丙烯酸4-羟丁酯、和1,4-环己烷二甲醇单(甲基)丙烯酸酯中的至少一种。
6.根据权利要求1~5的任一项所述的转印材料用固化性组合物,所述醛类化合物是选自低聚甲醛、乙醛、丁醛、3-环己烯-1-甲醛、环己烷甲醛、降冰片烯甲醛、降冰片烷甲醛和苯甲醛中的至少一种。
7.根据权利要求1~6的任一项所述的转印材料用固化性组合物,还含有除所述具有三嗪骨架的(甲基)丙烯酸酯以外的其它自由基聚合性化合物。
8.根据权利要求1~7的任一项所述的转印材料用固化性组合物,还含有热自由基聚合引发剂。
9.根据权利要求1~7的任一项所述的转印材料用固化性组合物,还含有活性能量线自由基聚合引发剂。
10.一种图案形成方法,包括以下工序:
将权利要求1~8的任一项所述的转印材料用固化性组合物涂布在基板上来形成涂膜的工序,
将表面具有凹凸图案的模具按压到所述涂膜上的工序,
通过在将模具按压到所述涂膜上的状态下加热涂膜,来使涂膜固化的工序,
从所述固化后的涂膜上取下模具的工序。
11.一种图案形成方法,包括以下工序:
将权利要求1~7和9的任一项所述的转印材料用固化性组合物涂布在基板上来形成涂膜的工序,
将表面具有凹凸图案的模具按压到所述涂膜上的工序,
通过在将模具按压到所述涂膜上的状态下对涂膜照射活性能量线,来使涂膜固化的工序,
从所述固化后的涂膜上取下模具的工序。
12.根据权利要求11所述的图案形成方法,所述模具是由可透过活性能量线的材料形成的,隔着所述模具对所述涂膜照射活性能量线。
13.根据权利要求11所述的图案形成方法,所述基板是由可透过活性能量线的材料形成的,隔着所述基板对所述涂膜照射活性能量线。
14.根据权利要求10~13的任一项所述的图案形成方法,所述图案是10μm以下的微细图案。
15.一种磁记录介质的制造方法,其特征在于,使用在基体上具备磁性膜的基板,并采用权利要求10~14的任一项所述的图案形成方法在磁性膜上形成图案,以该图案作为抗蚀层来局部除去所述磁性膜、或将所述磁性膜局部非磁性化。
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