[发明专利]感光性树脂组合物、使用其的物品以及负型图案形成方法

摘要

本发明提供一种感光性树脂组合物，其为高灵敏度，不论聚酰亚胺母体的种类如何均得到溶解性对比度，结果可以保持充分的工艺余量，并且得到形状良好的图案。所述感光性树脂组合物，其中，含有由通式(I)表示的光产碱剂以及聚酰亚胺母体，通式(I)中，各符号如说明书中定义所示。通式(I)

主权项

1.一种感光性树脂组合物，其中，含有由通式(I)表示的光产碱剂以及聚酰亚胺母体，通式(I)上述通式(I)中，R₁以及R₂分别独立地表示可具有取代基的碳原子数1～12的烷基、或可具有取代基的碳原子数6～12的芳基，R₁与R₂也可以连结形成可具有取代基的碳原子数1～24的亚烷基、或可具有取代基的碳原子数6～24的亚芳基，R₃以及R₄分别独立地表示氢原子、可具有取代基的碳原子数1～12的烷基、或可具有取代基的碳原子数6～12的芳基，R₃以及R₄中的至少一个不是氢原子，R₃与R₄也可以连结形成可含有杂原子的环状结构，R₅～R₉分别独立地表示氢原子、碳原子数1～12的烷基、碳原子数6～12的芳基、碳原子数1～12的烷氧基、卤原子、氰基、氨基、碳原子数1～12的烷基氨基、碳原子数1～12的酰氧基、硝基、或碳原子数1～12的酰基。