[发明专利]感光性树脂组合物、使用其的物品以及负型图案形成方法

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其中，含有由通式(I)表示的光产碱剂以及聚酰亚胺母体，

通式(I)

上述通式(I)中，R₁以及R₂分别独立地表示可具有取代基的碳原子数1～12的烷基、或可具有取代基的碳原子数6～12的芳基，R₁与R₂也可以连结形成可具有取代基的碳原子数1～24的亚烷基、或可具有取代基的碳原子数6～24的亚芳基，

R₃以及R₄分别独立地表示氢原子、可具有取代基的碳原子数1～12的烷基、或可具有取代基的碳原子数6～12的芳基，R₃以及R₄中的至少一个不是氢原子，R₃与R₄也可以连结形成可含有杂原子的环状结构，

R₅～R₉分别独立地表示氢原子、碳原子数1～12的烷基、碳原子数6～12的芳基、碳原子数1～12的烷氧基、卤原子、氰基、氨基、碳原子数1～12的烷基氨基、碳原子数1～12的酰氧基、硝基、或碳原子数1～12的酰基。

2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，在所述光产碱剂中，R₃以及R₄为氢原子、或可具有取代基的碳原子数1～12的烷基。

3.如权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，在所述光产碱剂中，R₃以及R₄为可具有取代基的碳原子数1～12的烷基。

4.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，在所述光产碱剂中，R₃与R₄连结形成可含有杂原子的环状结构。

5.如权利要求1～4中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，由所述通式(I)表示的光产碱剂中，R₁和R₂为甲基。

6.如权利要求1～5中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述聚酰亚胺母体为其自身通过碱性物质的作用促进向最终生成物的反应的物质。

7.如权利要求1～6中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述聚酰亚胺母体为其自身通过碱性物质的作用促进向最终生成物的反应并通过加热溶解性发生变化的物质。

8.如权利要求1～7中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，还含有增感剂。

9.如权利要求1～8中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述聚酰亚胺母体为聚酰胺酸。

10.如权利要求1～9中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述光产碱剂对于400nm以上波长的电磁波具有光分解性。

11.如权利要求1～10中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述光产碱剂减少5％重量的温度为170℃以上。

12.如权利要求1～11中任一项所述的感光性树脂组合物，其作为涂料或印刷油墨、或者滤色片、柔性显示器用膜、半导体装置、电子部件、层间绝缘膜、配线包覆膜、光电路、光电路部件、防反射膜、全息图、光学构件或建筑材料的形成材料使用。

13.印刷物、滤色片、柔性显示器用膜、半导体装置、电子部件、层间绝缘膜、配线包覆膜、光电路、光电路部件、防反射膜、全息图、光学构件或建筑材料中的任一种物品，其至少一部分由权利要求1～12中任一项所述的感光性树脂组合物或其固化物形成。

14.一种负型图案形成方法，其中，对由权利要求1～12中任一项所述的感光性树脂组合物构成的涂膜或成形体的表面以规定的图案状照射电磁波，在使所述涂膜或成形体的电磁波照射部位的溶解性选择性地降低之后，进行显影。

15.如权利要求14所述的负型图案形成方法，其中，照射电磁波后，进行加热处理，使所述涂膜或成形体的电磁波照射部位的溶解性选择性地降低。