[发明专利]具有电极桥的加速度传感器

摘要

本发明涉及一种电容式微机械加速度传感器，具有基底(10)和安置在该基底(10)上的微机械功能层，其中，在该微机械功能层中安置一振动质量(20)、一悬挂装置(40)和一些固定电极(30，35)。这些固定电极30或35相继地在悬挂装置(40)的第一或第二侧(110，120)借助掩埋的导线组(50，55)相互电连接。这些固定电极(30，35)在悬挂装置(40)的第一和第二侧(110，120)之间借助微机械功能层中的第一和第二导体(300，350)相互连接。

主权项

电容式微机械加速度传感器，‑具有基底(10)和安置在该基底(10)上方的微机械功能层，‑在该微机械功能层中安置环形的振动质量(20)，该振动质量包围一内部区域(25)，‑在该内部区域(25)中安置一悬挂装置(40)，该悬挂装置固定在基底(10)上并且借助一弹簧装置(70)悬挂该环形的振动质量(20)，‑在该内部区域(25)中，在悬挂装置(40)的第一侧(110)在该微机械功能层中安置第一和第二固定电极(30和35)并且在悬挂装置(40)的第二侧(120)在该微机械功能层中安置第一和第二固定电极(30和35)，‑在所述第一和第二侧(110和120)分别使第一固定电极(30)与第一导线组(50)连接并且第二固定电极(35)与第二导线组(55)连接，其特征在于，‑至少一个安置在第一侧(110)的第一固定电极(30)与一安置在第二侧(120)的第一固定电极(30)借助微机械功能层中的第一导体(300)导电地连接，和/或‑至少一个安置在第一侧(110)的第二固定电极(35)与一安置在第二侧(120)的第二固定电极(35)借助微机械功能层中的第二导体(350)导电地连接。