[发明专利]具有电极桥的加速度传感器有效
| 申请号： | 200980137969.0 | 申请日： | 2009-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN102165322A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | A·克尔贝尔;L·特伯杰;C·比尔霍夫 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/125 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 电极 加速度 传感器 | ||
1.电容式微机械加速度传感器，
-具有基底(10)和安置在该基底(10)上方的微机械功能层，
-在该微机械功能层中安置环形的振动质量(20)，该振动质量包围一内部区域(25)，
-在该内部区域(25)中安置一悬挂装置(40)，该悬挂装置固定在基底(10)上并且借助一弹簧装置(70)悬挂该环形的振动质量(20)，
-在该内部区域(25)中，在悬挂装置(40)的第一侧(110)在该微机械功能层中安置第一和第二固定电极(30和35)并且在悬挂装置(40)的第二侧(120)在该微机械功能层中安置第一和第二固定电极(30和35)，
-在所述第一和第二侧(110和120)分别使第一固定电极(30)与第一导线组(50)连接并且第二固定电极(35)与第二导线组(55)连接，
其特征在于，
-至少一个安置在第一侧(110)的第一固定电极(30)与一安置在第二侧(120)的第一固定电极(30)借助微机械功能层中的第一导体(300)导电地连接，
和/或
-至少一个安置在第一侧(110)的第二固定电极(35)与一安置在第二侧(120)的第二固定电极(35)借助微机械功能层中的第二导体(350)导电地连接。
2.根据权利要求1的加速度传感器，其特征在于，所述基底是硅基底并且所述微机械功能层是多晶的硅层。
3.根据权利要求1的加速度传感器，其特征在于，所述悬挂装置构造为具有缺口的分体式悬挂装置(42，44)，所述第一导体(300)和/或所述第二导体(350)安置在该缺口中。
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