[发明专利]具有组合的面内和平行平面结构的传感器

摘要

传感器感测传感器环境的物理参数的大小。传感器包括第一和第二电极以及其间的材料层。所述材料具有电学性质，例如电容或电阻，所述电学性质的值依赖于所述物理参数的大小。第一电极形成于第一层中，第二电极形成于与第一层不同的第二层中。第一层具有沟槽以及与沟槽相邻的隆起部。沟槽具有底壁和侧壁。所述材料于底壁上、侧壁上以及隆起部的顶部上。所述沟槽容纳第二电极的至少一部分。第二电极暴露出在隆起部的顶部上形成的材料。

主权项

一种包括传感器(100；400；500)的装置，所述传感器用于感测传感器环境的物理参数的大小，其中：所述传感器包括第一电极(102)、第二电极(302)以及所述第一电极和第二电极之间的材料(202)；所述材料具有电学性质，所述电学性质的值依赖于所述物理参数的大小；所述第一电极形成于第一层中，以及所述第二电极形成于与所述第一层不同的第二层中；所述第一层具有沟槽(112)以及与所述沟槽相邻的隆起部(106)；所述沟槽具有底壁(116)和侧壁(118)；所述材料位于所述底壁上、所述侧壁上以及所述隆起部的顶部上；所述沟槽容纳所述第二电极的至少一部分；以及所述第二电极暴露出在所述隆起部的顶部上形成的材料(304、306、380；402、404、406、408、410、412)。